세메스, 대한기계학회와 제10회 오픈 이노베이션 챌린지 개최

반도체 장비업체 세메스는 강원도 하이원 그랜드호텔에서 '제10회 대한기계학회-세메스 오픈 이노베이션 챌린지' 행사를 열고 산학 기술교류 촉진을 위한 우수논문 시상식 및 수상작 발표회를 했다고 12일 밝혔다.

이 행사는 반도체·디스플레이 장비 공정기술 및 초정밀 센서 계측기술 등 산업현장에서 활용될 수 있는 기계공학 분야에 관해 열리는 논문 공모전이다. 국내 최초로 시행되고 있는 산학 오픈 이노베이션 대회기도 하다. 행사를 주관한 대한기계학회는 회원수만 해도 3만명이 넘고 한해 논문발표 실적도 1600편에 달하는 국내 최대의 학술 단체다. 올해로 창립 80주년을 맞았다. 세메스는 대한기계학회와의 전략적 파트너십을 통해 차별화된 고성능 장비 개발을 앞당기려 하고 있다.

이번 공모전은 국내 28개 대학 및 연구기관으로부터 생산설비, CAE, 계측제어, 열/유체/소재, 공정, 인공지능(AI) 등을 주제로 총 96편의 제안서를 접수받아 대상 1팀, 금상 2팀 등 총 12개팀을 선정했다.

대상은 '이벤트 카메라 기반 3D-LPT를 통한 웨이퍼 엣지 액적 충돌 메커니즘 규명'을 논문 주제로 발표한 서울대 기계공학과 박형민 교수팀에게 돌아갔다. 금상은 KAIST 기계공학과 박인규 교수·서강대 기계공학과 박정열 교수팀에 주어졌다.

올해로 10회째를 맞은 이 대회는 그동안 100여편이 넘는 수상작 중 반도체 초임계, 클린, 자동화, 검사, 센서 및 디스플레이 분야의 혁신 기술을 선정해 총 10개의 산학과제를 수행했다. 또한 차세대 핵심 장비 개발을 위한 다수의 정밀 측정, 계측 장비, 센서, 초미세 제어 등의 기술을 확보하는 성과를 거두었다고 회사는 설명했다.

심상필 세메스 대표는 "앞으로도 학회의 우수한 연구 인프라를 활용해 시장에서 요구하는 고난도 반도체 공정장비 기술개발에 앞장서겠다"고 말했다.

김형민 기자 khm193@asiae.co.kr

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