[사진=아이비젼웍스]이차전지·반도체 비전검사 기업 아이비젼웍스가 유리기판 마이크로 크랙(미세 균열) 결함 검사 기술 관련 특허를 출원했다는 소식에 장 초반 가격제한폭까지 상승하고 있다. 2일 한국거래소에 따르면 오전 9시25분 아이비젼웍스는 전 거래일 대비 348원(29.97%) 뛴 1509원에 거래되고 있다.
이번 특허는 유리기판의 유리관통전극(TGV) 홀 가공 후에 남은 미세 균열을 찾아내는 광학 검사 기술이다. 유리기판은 TGV 홀 가공 이후 잔존 마이크로 크랙이 후공정에서 파손을 유발하는 주요 리스크로 꼽힌다.
아이비젼웍스는 이 문제를 해결하기 위해 신기술 광원과 고해상도 이미징 시스템을 적용했다. 이를 통해 기존 검사 방식으로는 구분하기 어려웠던 미세 결함을 정밀하게 검출할 수 있게 됐다.
아주경제=송하준 기자 hajun825@ajunews.com
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